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信息系统元件生产中的铝氧化工艺
白俄罗斯技术合作与转移项目目录 2022年01月10日

生产带多层互联系统的铝质基座用于高纯度模块,带各自异性电导的薄膜材料,传感器、纳米电子元件。铝质多层互联系统工艺已获美国专利(专利号5580825),已在74个国家申报专利。